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ICP-MS是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器，它能同時(shí)測(cè)定幾十種痕量無(wú)機(jī)元素，在無(wú)機(jī)實(shí)驗(yàn)室地位斐然，今天就其發(fā)展史、檢測(cè)原理、結(jié)構(gòu)、檢測(cè)范圍、保養(yǎng)維護(hù)及其它注意事項(xiàng)等，和大家進(jìn)行探討，讓ICP-MS變的更簡(jiǎn)單。ICP-MS發(fā)展簡(jiǎn)述
ICP-MS全稱（Inductively coupled plasma mass spectrometry），盡管早期ICP-MS系統(tǒng)昂貴、龐大、復(fù)雜、自動(dòng)化程度有限，而且信號(hào)漂移嚴(yán)重，但低檢出限的多元素同時(shí)檢測(cè)和簡(jiǎn)單的質(zhì)譜信息輸出(包含同位素比值信息)等顯著的優(yōu)點(diǎn)使人們很快接受了這項(xiàng)剛出現(xiàn)的技術(shù)。耦合等離子體質(zhì)譜。是以電感耦合等離子體作為離子源，以質(zhì)譜進(jìn)行檢測(cè)的無(wú)機(jī)多元素分析技術(shù)。ICP-MS技術(shù)起源于已有的兩種技術(shù)——?dú)鍤釯CP和四級(jí)桿質(zhì)譜儀，這些系統(tǒng)雖然還需要在ICP與質(zhì)譜儀的接口方面作一些改進(jìn)。電感耦合等離子體(ICP)和質(zhì)譜(MS)技術(shù)的聯(lián)姻成為20世紀(jì)80年代初分析化學(xué)領(lǐng)域。最成功的創(chuàng)舉，也是分析科學(xué)家們最富有成果的一次國(guó)際性技術(shù)合作。從1980年第一篇ICP-MS可行性文章發(fā)表，到1983年第一臺(tái)商品化儀器的問(wèn)世只有3年時(shí)間。盡管早期ICP-MS系統(tǒng)昂貴、龐大、復(fù)雜、自動(dòng)化程度有限，而且信號(hào)漂移嚴(yán)重，但低檢出限的多元素同時(shí)檢測(cè)和簡(jiǎn)單的質(zhì)譜信息輸出(包含同位素比值信息)等顯著的優(yōu)點(diǎn)使人們很快接受了這項(xiàng)剛出現(xiàn)的技術(shù)。常用術(shù)語(yǔ)質(zhì)量數(shù)：在核子/原子中，中子和質(zhì)子的總數(shù)。核素（Nuclide）：給定M值和Z值的一種核子。同中子異荷素（Isotone）：中子數(shù)（N）相同，質(zhì)子數(shù)或質(zhì)量數(shù)不同的核素。同位素（Isotope）：質(zhì)子數(shù)相同（Z），中子數(shù)或質(zhì)量數(shù)不同的核素。同量異位素/同質(zhì)異位素（Isobar）：質(zhì)量數(shù)（M）相同，質(zhì)子數(shù)和中子數(shù)不同的核素。豐度靈敏度：一個(gè)分析物譜峰的拖尾對(duì)相鄰質(zhì)量處的重疊程度。背景等效濃度（BEC）：測(cè)定純水或樣品時(shí)，與待測(cè)元素質(zhì)量數(shù)處的背景絕對(duì)計(jì)數(shù)值相當(dāng)?shù)脑貪舛戎担籅EC=待測(cè)元素的背景絕對(duì)計(jì)數(shù)值/方法的靈敏度。掃描方式：對(duì)每個(gè)峰在數(shù)個(gè)通道內(nèi)的整個(gè)質(zhì)量連續(xù)掃描，可獲得完整的譜圖形狀。跳峰方式：質(zhì)譜儀在幾個(gè)固定質(zhì)量位置上對(duì)目標(biāo)同位素進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。掃描時(shí)間：在完整的選定質(zhì)量表中采集數(shù)據(jù)所需的總時(shí)間。停留時(shí)間：測(cè)量一個(gè)特定質(zhì)量的信號(hào)所需的時(shí)間�？�?cè)芙夤腆w量（TDS）：溶解在溶劑中的固體物質(zhì)總濃度。ICP-MS原理及基本結(jié)構(gòu)
1、CP-MS基本原理樣品進(jìn)行ICP-MS分析時(shí)一般經(jīng)過(guò)以下四步：（1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進(jìn)入由射頻能量激發(fā)的處于大氣壓下的氬等離子體中心區(qū)；（2）等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離；（3）部分等離子體經(jīng)過(guò)不同的壓力區(qū)進(jìn)入真空系統(tǒng)，在真空系統(tǒng)內(nèi)，正離子被拉出并按其質(zhì)荷比分離；（4）檢測(cè)器將離子轉(zhuǎn)化為電子脈沖，然后由積分測(cè)量線路計(jì)數(shù)；電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān)，通過(guò)與已知的標(biāo)準(zhǔn)或參比物質(zhì)比較，實(shí)現(xiàn)未知樣品的痕量元素定量分析。2、ICP-MS基本構(gòu)造一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的ICP-MS儀器分為三個(gè)基本部分：
（1）ICP（樣品引入系統(tǒng)，離子源）（2）接口（采樣錐，截取錐）（3）質(zhì)譜儀（離子聚焦系統(tǒng)，四級(jí)桿過(guò)濾器，離子檢測(cè)器）主要結(jié)構(gòu)解析
1、樣品引入系統(tǒng)ICP要求所有樣品以氣體、蒸汽和細(xì)霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進(jìn)入中心通道氣流中。針對(duì)于不同樣品性狀，有多種引入方式。
（1）流動(dòng)注射進(jìn)樣特點(diǎn)：樣品用量少，對(duì)溶液TDS和粘度要求不高，設(shè)備簡(jiǎn)單靈活；（2）電熱蒸發(fā)直接進(jìn)樣特點(diǎn)：進(jìn)樣量少，傳輸率高（＞60%），可預(yù)先去除溶劑，可預(yù)先去除基體；（3）氫化物發(fā)生進(jìn)樣特點(diǎn)：接近于100%的傳輸率，與溶液基體充分分離，具有預(yù)富集的效果；（4）激光燒蝕法進(jìn)樣特點(diǎn)：原位無(wú)損分析，重現(xiàn)性好，線性范圍寬，適用于多種樣品（包括鋼鐵、陶瓷、礦物、核材料、食品等）。2、霧化器ICP-MS中主要使用三種類型的霧化器：（1）同心霧化器。氣流與毛細(xì)管平行，氣流迅速通過(guò)毛細(xì)管末端，溶液由毛細(xì)管引入低壓區(qū)，低壓與高速氣流共同將溶液破碎成氣溶膠。優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高、穩(wěn)定性好缺點(diǎn)：易堵塞、更換成本高、玻璃材質(zhì)不耐氫氟酸。（2）交叉流霧化器。利用高速氣流與液流之間接觸使液體破碎產(chǎn)生氣溶膠。優(yōu)點(diǎn)：堅(jiān)固且易于清洗、不宜堵塞缺點(diǎn)：霧化效果比同心霧化器略差。（3）Babington型霧化器。氣流從一細(xì)孔中高速噴出，將沿V型槽流下的蒲層液流破碎成霧滴。Babington型霧化器事實(shí)上是交叉流霧化器中的一種。優(yōu)點(diǎn)：適應(yīng)高鹽分試樣缺點(diǎn)：霧化效率低3、離子源ICP-MS 是以電感耦合等離子體作為離子源。ICP火焰的形成有三個(gè)條件： 高頻電磁場(chǎng)、工作氣體、能維持氣體穩(wěn)定放電的石英炬管。如上圖，在管子的上部環(huán)繞著一水冷感應(yīng)線圈，當(dāng)高頻發(fā)生器供電時(shí)，線圈軸線方向上產(chǎn)生強(qiáng)烈振蕩的磁場(chǎng)。用高頻火花等方法使中間流動(dòng)的工作氣體電離，產(chǎn)生的離子和電子再與感應(yīng)線圈所產(chǎn)生的起伏磁場(chǎng)作用，這一相互作用使線圈內(nèi)的離子和電子沿圖示所示的封閉環(huán)路流動(dòng)。它們對(duì)這一運(yùn)動(dòng)的阻力則導(dǎo)致歐姆加熱作用。由于強(qiáng)大的電流產(chǎn)生的高溫，使氣體加熱，從而形成火炬狀的等離子體。等離子體指的是含有一定濃度陰陽(yáng)離子，能夠?qū)щ姷臍怏w混合物。在等離子體中，陰陽(yáng)離子的濃度是相同的，凈電荷為零。通常用氬形成等離子體。氬離子和電子是主要導(dǎo)電物質(zhì)，一般溫度可以達(dá)到10,000K。等離子體是一種電荷放電，而不是化學(xué)火焰！4、接口接口是整個(gè)ICP-MS系統(tǒng)最關(guān)鍵的部分。其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質(zhì)譜。在質(zhì)譜和等離子體之間存在溫度、壓力和濃度的巨大差異，前者要求在高真空和常溫條件下工作(質(zhì)譜技術(shù)要求離子在運(yùn)動(dòng)中不產(chǎn)生碰撞)，而后者則是在常壓下工作。 如何將高溫、常壓下的等離子體中的離子有效地傳輸?shù)礁哒婵�、常溫下的質(zhì)譜儀，這是接口技術(shù)所要解決的難題。必須使足夠多的等離子體在這兩個(gè)壓力差別非常大的區(qū)域之間有效傳輸，而且在離子傳輸?shù)娜^(guò)程中，不應(yīng)該產(chǎn)生任何影響最終分析結(jié)果可靠性的反應(yīng)，即樣品離子在性質(zhì)和相對(duì)比例上不應(yīng)有變化。ICP-MS對(duì)離子采集接口的要求:（1）最大限度的讓所生成的離子通過(guò)；（2）保持樣品離子的完整性；（3）氧化物和二次離子產(chǎn)率盡可能低；（4）等離子體的二次放電盡可能��；（5）不易堵塞；（6）產(chǎn)生熱量盡可能少；（7）采樣錐在等離子體內(nèi),通過(guò)軟件操作,自動(dòng)確定最佳位置(X、Y、Z方向)；（8）易于拆卸和維護(hù)(錐口拆冼過(guò)程中,不影響真空系統(tǒng),無(wú)需卸真空)。采樣錐： 作用是把來(lái)自等離子體中心通道的載氣流，即離子流大部分吸入錐孔，進(jìn)入第一級(jí)真空室。采樣錐通常由Ni、Al、Cu、Pt等金屬制成，Ni錐使用最多。截取錐： 作用是選擇來(lái)自采樣錐孔的膨脹射流的中心部分，并讓其通過(guò)截取錐進(jìn)入下一級(jí)真空。截取錐安裝在采樣錐后，并與其在同軸線，兩者相距6-7mm，通常也由鎳材料制成，截取錐通常比采樣錐的角度更尖一些，以便在尖口邊緣形成的沖擊波最小。5、離子聚焦系統(tǒng)ICP-MS的離子聚焦系統(tǒng)與原子發(fā)射或吸收光譜中的光學(xué)透鏡一樣起聚焦作用，但聚焦的是離子，而不是光子。透鏡材料及聚焦原理基于靜電透鏡。整個(gè)離子聚集系統(tǒng)由一組靜電控制的金屬片或金屬筒或金屬環(huán)組成,其上施加一定值電壓。其原理是利用離子的帶電性質(zhì),用電場(chǎng)聚集或偏轉(zhuǎn)牽引離子，將離子限制在通向質(zhì)量分析器的路徑上，也就是將來(lái)自截取錐的離子聚焦到質(zhì)量過(guò)濾器。而光子以直線傳播，中性粒子不受電場(chǎng)牽引，因而可以離軸方式偏轉(zhuǎn)或采用擋板、90°轉(zhuǎn)彎等方式，拒絕中性原子并消除來(lái)自ICP的光子通過(guò)。6、四極桿濾質(zhì)器四極桿的工作原理是基于在四根電極之間的空間產(chǎn)生一個(gè)隨時(shí)間變化的特殊電場(chǎng)，只有給定質(zhì)荷比(m/z)的離子才能獲得穩(wěn)定的路徑而通過(guò)極棒，從其另一端出射。其離子將被過(guò)分偏轉(zhuǎn)，與極棒碰撞，并在極棒上被中和而丟失。四極桿是一個(gè)順序質(zhì)量分析器，必須依次對(duì)目標(biāo)質(zhì)量進(jìn)行掃描，并在一個(gè)測(cè)量周期內(nèi)采集離子。其掃描速度很快，大約每100毫秒可掃描整個(gè)元素覆蓋的質(zhì)量范圍。7、離子檢測(cè)器四極桿系統(tǒng)將離子按質(zhì)荷比分離后最終引入檢測(cè)器。檢測(cè)器將離子轉(zhuǎn)換成電子脈沖，然后由積分線路計(jì)數(shù)。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān)。通過(guò)與己知濃度的標(biāo)準(zhǔn)比較,實(shí)現(xiàn)未知樣品的痕量元素的定量分析。特點(diǎn)與應(yīng)用
電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)是20世紀(jì)80年代早期發(fā)展起來(lái)的商品化的分析技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于幾乎所有分析領(lǐng)域內(nèi)痕量、微量和常量元素的測(cè)定。該技術(shù)的優(yōu)勢(shì)包括:元素覆蓋范圍寬：包括堿金屬、堿土金屬、過(guò)渡金屬和其它金屬類金屬、稀土元素、大部分鹵素和一些非金屬元素。性能好： 靈敏度高，背景信號(hào)低，檢出限極低；分析速度快：由于四極桿分析器的掃描速度快，每個(gè)樣品全元素測(cè)定只需大約4分鐘；線性范圍寬：一次測(cè)量線性范圍能覆蓋9個(gè)數(shù)量級(jí)；能夠提供同位素的信息。ICP-MS由于在速度、靈敏度、動(dòng)態(tài)范圍和元素測(cè)量范圍中的優(yōu)勢(shì)而處于獨(dú)一無(wú)二的地位。能夠快速測(cè)量高濃度的元素(ppb到ppm級(jí))的特點(diǎn)使其成為AES的可行的替代方法。同時(shí)ICP-MS在許多痕量和超痕量元素測(cè)定中超越了石墨爐原子吸收光譜法(GFAAS)的檢出能力(ppt級(jí))，ICP-MS能測(cè)量幾乎所有的樣品,并且實(shí)現(xiàn)了一次采集完成多元素同時(shí)測(cè)定，同時(shí)提供同位素的信息。 形態(tài)分析是ICP-MS發(fā)展最快的領(lǐng)域之一，即色譜技術(shù)與ICP-MS的聯(lián)用。其中ICP-MS作為檢測(cè)器測(cè)定樣品中元素的化學(xué)價(jià)態(tài)。這些性能有助于實(shí)現(xiàn)ICP-MS在所有領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，而且確立了ICP-MS在痕量金屬檢測(cè)技術(shù)中的首要地位。各種原子分析技術(shù)比較：ICP-MS 適用于：大多數(shù)金屬和非金屬，測(cè)試范圍：ppt-ppm；優(yōu)點(diǎn)：快速靈敏多元素；動(dòng)態(tài)范圍寬；缺點(diǎn)：干擾容易控制總?cè)芙夤腆w量(TDS)耐受性低。ICP-OES：大多數(shù)金屬和部分非金屬；測(cè)試范圍：ppb—中等ppm；優(yōu)點(diǎn)：快速多元素、高TDS耐受性；缺點(diǎn)：干擾復(fù)雜、靈敏度相對(duì)較低。GFAA：大多數(shù)金屬；優(yōu)點(diǎn)：ppt級(jí)靈敏度高、干擾少。缺點(diǎn)：?jiǎn)卧鳈z測(cè)、動(dòng)態(tài)范圍窄。氫化物AA：氫化物形成的元素ppt-ppb靈敏度高、干擾少；缺點(diǎn)：?jiǎn)卧鳈z測(cè)、速度慢。復(fù)雜冷蒸汽Hg；優(yōu)點(diǎn)：ppt靈敏、譜圖簡(jiǎn)單、干擾少；缺點(diǎn)：?jiǎn)卧鳈z測(cè)、速度慢。質(zhì)譜圖常見(jiàn)干擾
1、光譜干擾：（1）同量異位離子干擾來(lái)源：兩種不同元素的質(zhì)量幾乎相同的同位素所造成的干擾。如：133In+—133Cd+115In+—115Sn+40Ar+——40Ca+消除： 另選測(cè)定同位素、采用高分辨質(zhì)譜儀、計(jì)算機(jī)軟件校正。（2）多原子分子離子干擾來(lái)源：在離子的引出過(guò)程中，由等離子體中的組分與基體或大氣中的組分相互作用形成的多原子離子所引起的干擾。如:14N2+——28Si+14N16O1H+——31P+消除：扣空白校正、反應(yīng)/碰撞池技術(shù)、另選分析同位素。（3）氧化物和氫氧化物離子干擾來(lái)源：由分析物、基體組分、溶劑和等離子氣體等形成的氧化物和氫氧化物所引起的干擾。如：62TiO+——62Ni+65TiO+——65Cu+消除：優(yōu)化實(shí)驗(yàn)條件如功率、載氣流速、去溶進(jìn)樣、反應(yīng)/碰撞池技術(shù)、校正方法等。（4）儀器和試樣制備所引入的雜質(zhì)離子干擾來(lái)源：采樣錐和分離錐材料中濺出的金屬離子以及試劑和水中微量雜質(zhì)離子所造成的干擾。 如： 鎳錐中濺射出的Ni+約為2ng/mL;酸和去離子水中的Cu+、Zn+為ng/mL級(jí)。消除： 降低等離子體的點(diǎn)位、使用超純?cè)噭┖退⑹褂孟跛崛芙夤腆w（因?yàn)榈碾婋x電位高，其分子離子相當(dāng)弱）。
2、基體效應(yīng)： 試樣中各成分對(duì)分析元素測(cè)量的總效應(yīng)。來(lái)源： 低電離能元素的電離抑制了待測(cè)元素的電離，以及提升量和霧化效率不同影響分析物的電離和ICP溫度等所引起的干擾。消除：稀釋、基體匹配、標(biāo)準(zhǔn)加入、內(nèi)標(biāo)法或同位素稀釋等。
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ICP-MS全稱（Inductively coupled plasma mass spectrometry），盡管早期ICP-MS系統(tǒng)昂貴、龐大、復(fù)雜、自動(dòng)化程度有限，而且信號(hào)漂移嚴(yán)重，但低檢出限的多元素同時(shí)檢測(cè)和簡(jiǎn)單的質(zhì)譜信息輸出(包含同位素比值信息)等顯著的優(yōu)點(diǎn)使人們很快接受了這項(xiàng)剛出現(xiàn)的技術(shù)。耦合等離子體質(zhì)譜。是以電感耦合等離子體作為離子源，以質(zhì)譜進(jìn)行檢測(cè)的無(wú)機(jī)多元素分析技術(shù)。ICP-MS技術(shù)起源于已有的兩種技術(shù)——?dú)鍤釯CP和四級(jí)桿質(zhì)譜儀，這些系統(tǒng)雖然還需要在ICP與質(zhì)譜儀的接口方面作一些改進(jìn)。電感耦合等離子體(ICP)和質(zhì)譜(MS)技術(shù)的聯(lián)姻成為20世紀(jì)80年代初分析化學(xué)領(lǐng)域。最成功的創(chuàng)舉，也是分析科學(xué)家們最富有成果的一次國(guó)際性技術(shù)合作。從1980年第一篇ICP-MS可行性文章發(fā)表，到1983年第一臺(tái)商品化儀器的問(wèn)世只有3年時(shí)間。盡管早期ICP-MS系統(tǒng)昂貴、龐大、復(fù)雜、自動(dòng)化程度有限，而且信號(hào)漂移嚴(yán)重，但低檢出限的多元素同時(shí)檢測(cè)和簡(jiǎn)單的質(zhì)譜信息輸出(包含同位素比值信息)等顯著的優(yōu)點(diǎn)使人們很快接受了這項(xiàng)剛出現(xiàn)的技術(shù)。常用術(shù)語(yǔ)質(zhì)量數(shù)：在核子/原子中，中子和質(zhì)子的總數(shù)。核素（Nuclide）：給定M值和Z值的一種核子。同中子異荷素（Isotone）：中子數(shù)（N）相同，質(zhì)子數(shù)或質(zhì)量數(shù)不同的核素。同位素（Isotope）：質(zhì)子數(shù)相同（Z），中子數(shù)或質(zhì)量數(shù)不同的核素。同量異位素/同質(zhì)異位素（Isobar）：質(zhì)量數(shù)（M）相同，質(zhì)子數(shù)和中子數(shù)不同的核素。豐度靈敏度：一個(gè)分析物譜峰的拖尾對(duì)相鄰質(zhì)量處的重疊程度。背景等效濃度（BEC）：測(cè)定純水或樣品時(shí)，與待測(cè)元素質(zhì)量數(shù)處的背景絕對(duì)計(jì)數(shù)值相當(dāng)?shù)脑貪舛戎担籅EC=待測(cè)元素的背景絕對(duì)計(jì)數(shù)值/方法的靈敏度。掃描方式：對(duì)每個(gè)峰在數(shù)個(gè)通道內(nèi)的整個(gè)質(zhì)量連續(xù)掃描，可獲得完整的譜圖形狀。跳峰方式：質(zhì)譜儀在幾個(gè)固定質(zhì)量位置上對(duì)目標(biāo)同位素進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。掃描時(shí)間：在完整的選定質(zhì)量表中采集數(shù)據(jù)所需的總時(shí)間。停留時(shí)間：測(cè)量一個(gè)特定質(zhì)量的信號(hào)所需的時(shí)間�？�?cè)芙夤腆w量（TDS）：溶解在溶劑中的固體物質(zhì)總濃度。ICP-MS原理及基本結(jié)構(gòu)
1、CP-MS基本原理樣品進(jìn)行ICP-MS分析時(shí)一般經(jīng)過(guò)以下四步：（1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進(jìn)入由射頻能量激發(fā)的處于大氣壓下的氬等離子體中心區(qū)；（2）等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離；（3）部分等離子體經(jīng)過(guò)不同的壓力區(qū)進(jìn)入真空系統(tǒng)，在真空系統(tǒng)內(nèi)，正離子被拉出并按其質(zhì)荷比分離；（4）檢測(cè)器將離子轉(zhuǎn)化為電子脈沖，然后由積分測(cè)量線路計(jì)數(shù)；電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān)，通過(guò)與已知的標(biāo)準(zhǔn)或參比物質(zhì)比較，實(shí)現(xiàn)未知樣品的痕量元素定量分析。2、ICP-MS基本構(gòu)造一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的ICP-MS儀器分為三個(gè)基本部分：
（1）ICP（樣品引入系統(tǒng)，離子源）（2）接口（采樣錐，截取錐）（3）質(zhì)譜儀（離子聚焦系統(tǒng)，四級(jí)桿過(guò)濾器，離子檢測(cè)器）主要結(jié)構(gòu)解析
1、樣品引入系統(tǒng)ICP要求所有樣品以氣體、蒸汽和細(xì)霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進(jìn)入中心通道氣流中。針對(duì)于不同樣品性狀，有多種引入方式。
（1）流動(dòng)注射進(jìn)樣特點(diǎn)：樣品用量少，對(duì)溶液TDS和粘度要求不高，設(shè)備簡(jiǎn)單靈活；（2）電熱蒸發(fā)直接進(jìn)樣特點(diǎn)：進(jìn)樣量少，傳輸率高（＞60%），可預(yù)先去除溶劑，可預(yù)先去除基體；（3）氫化物發(fā)生進(jìn)樣特點(diǎn)：接近于100%的傳輸率，與溶液基體充分分離，具有預(yù)富集的效果；（4）激光燒蝕法進(jìn)樣特點(diǎn)：原位無(wú)損分析，重現(xiàn)性好，線性范圍寬，適用于多種樣品（包括鋼鐵、陶瓷、礦物、核材料、食品等）。2、霧化器ICP-MS中主要使用三種類型的霧化器：（1）同心霧化器。氣流與毛細(xì)管平行，氣流迅速通過(guò)毛細(xì)管末端，溶液由毛細(xì)管引入低壓區(qū)，低壓與高速氣流共同將溶液破碎成氣溶膠。優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高、穩(wěn)定性好缺點(diǎn)：易堵塞、更換成本高、玻璃材質(zhì)不耐氫氟酸。（2）交叉流霧化器。利用高速氣流與液流之間接觸使液體破碎產(chǎn)生氣溶膠。優(yōu)點(diǎn)：堅(jiān)固且易于清洗、不宜堵塞缺點(diǎn)：霧化效果比同心霧化器略差。（3）Babington型霧化器。氣流從一細(xì)孔中高速噴出，將沿V型槽流下的蒲層液流破碎成霧滴。Babington型霧化器事實(shí)上是交叉流霧化器中的一種。優(yōu)點(diǎn)：適應(yīng)高鹽分試樣缺點(diǎn)：霧化效率低3、離子源ICP-MS 是以電感耦合等離子體作為離子源。ICP火焰的形成有三個(gè)條件： 高頻電磁場(chǎng)、工作氣體、能維持氣體穩(wěn)定放電的石英炬管。如上圖，在管子的上部環(huán)繞著一水冷感應(yīng)線圈，當(dāng)高頻發(fā)生器供電時(shí)，線圈軸線方向上產(chǎn)生強(qiáng)烈振蕩的磁場(chǎng)。用高頻火花等方法使中間流動(dòng)的工作氣體電離，產(chǎn)生的離子和電子再與感應(yīng)線圈所產(chǎn)生的起伏磁場(chǎng)作用，這一相互作用使線圈內(nèi)的離子和電子沿圖示所示的封閉環(huán)路流動(dòng)。它們對(duì)這一運(yùn)動(dòng)的阻力則導(dǎo)致歐姆加熱作用。由于強(qiáng)大的電流產(chǎn)生的高溫，使氣體加熱，從而形成火炬狀的等離子體。等離子體指的是含有一定濃度陰陽(yáng)離子，能夠?qū)щ姷臍怏w混合物。在等離子體中，陰陽(yáng)離子的濃度是相同的，凈電荷為零。通常用氬形成等離子體。氬離子和電子是主要導(dǎo)電物質(zhì)，一般溫度可以達(dá)到10,000K。等離子體是一種電荷放電，而不是化學(xué)火焰！4、接口接口是整個(gè)ICP-MS系統(tǒng)最關(guān)鍵的部分。其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質(zhì)譜。在質(zhì)譜和等離子體之間存在溫度、壓力和濃度的巨大差異，前者要求在高真空和常溫條件下工作(質(zhì)譜技術(shù)要求離子在運(yùn)動(dòng)中不產(chǎn)生碰撞)，而后者則是在常壓下工作。 如何將高溫、常壓下的等離子體中的離子有效地傳輸?shù)礁哒婵�、常溫下的質(zhì)譜儀，這是接口技術(shù)所要解決的難題。必須使足夠多的等離子體在這兩個(gè)壓力差別非常大的區(qū)域之間有效傳輸，而且在離子傳輸?shù)娜^(guò)程中，不應(yīng)該產(chǎn)生任何影響最終分析結(jié)果可靠性的反應(yīng)，即樣品離子在性質(zhì)和相對(duì)比例上不應(yīng)有變化。ICP-MS對(duì)離子采集接口的要求:（1）最大限度的讓所生成的離子通過(guò)；（2）保持樣品離子的完整性；（3）氧化物和二次離子產(chǎn)率盡可能低；（4）等離子體的二次放電盡可能��；（5）不易堵塞；（6）產(chǎn)生熱量盡可能少；（7）采樣錐在等離子體內(nèi),通過(guò)軟件操作,自動(dòng)確定最佳位置(X、Y、Z方向)；（8）易于拆卸和維護(hù)(錐口拆冼過(guò)程中,不影響真空系統(tǒng),無(wú)需卸真空)。采樣錐： 作用是把來(lái)自等離子體中心通道的載氣流，即離子流大部分吸入錐孔，進(jìn)入第一級(jí)真空室。采樣錐通常由Ni、Al、Cu、Pt等金屬制成，Ni錐使用最多。截取錐： 作用是選擇來(lái)自采樣錐孔的膨脹射流的中心部分，并讓其通過(guò)截取錐進(jìn)入下一級(jí)真空。截取錐安裝在采樣錐后，并與其在同軸線，兩者相距6-7mm，通常也由鎳材料制成，截取錐通常比采樣錐的角度更尖一些，以便在尖口邊緣形成的沖擊波最小。5、離子聚焦系統(tǒng)ICP-MS的離子聚焦系統(tǒng)與原子發(fā)射或吸收光譜中的光學(xué)透鏡一樣起聚焦作用，但聚焦的是離子，而不是光子。透鏡材料及聚焦原理基于靜電透鏡。整個(gè)離子聚集系統(tǒng)由一組靜電控制的金屬片或金屬筒或金屬環(huán)組成,其上施加一定值電壓。其原理是利用離子的帶電性質(zhì),用電場(chǎng)聚集或偏轉(zhuǎn)牽引離子，將離子限制在通向質(zhì)量分析器的路徑上，也就是將來(lái)自截取錐的離子聚焦到質(zhì)量過(guò)濾器。而光子以直線傳播，中性粒子不受電場(chǎng)牽引，因而可以離軸方式偏轉(zhuǎn)或采用擋板、90°轉(zhuǎn)彎等方式，拒絕中性原子并消除來(lái)自ICP的光子通過(guò)。6、四極桿濾質(zhì)器四極桿的工作原理是基于在四根電極之間的空間產(chǎn)生一個(gè)隨時(shí)間變化的特殊電場(chǎng)，只有給定質(zhì)荷比(m/z)的離子才能獲得穩(wěn)定的路徑而通過(guò)極棒，從其另一端出射。其離子將被過(guò)分偏轉(zhuǎn)，與極棒碰撞，并在極棒上被中和而丟失。四極桿是一個(gè)順序質(zhì)量分析器，必須依次對(duì)目標(biāo)質(zhì)量進(jìn)行掃描，并在一個(gè)測(cè)量周期內(nèi)采集離子。其掃描速度很快，大約每100毫秒可掃描整個(gè)元素覆蓋的質(zhì)量范圍。7、離子檢測(cè)器四極桿系統(tǒng)將離子按質(zhì)荷比分離后最終引入檢測(cè)器。檢測(cè)器將離子轉(zhuǎn)換成電子脈沖，然后由積分線路計(jì)數(shù)。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān)。通過(guò)與己知濃度的標(biāo)準(zhǔn)比較,實(shí)現(xiàn)未知樣品的痕量元素的定量分析。特點(diǎn)與應(yīng)用
電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)是20世紀(jì)80年代早期發(fā)展起來(lái)的商品化的分析技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于幾乎所有分析領(lǐng)域內(nèi)痕量、微量和常量元素的測(cè)定。該技術(shù)的優(yōu)勢(shì)包括:元素覆蓋范圍寬：包括堿金屬、堿土金屬、過(guò)渡金屬和其它金屬類金屬、稀土元素、大部分鹵素和一些非金屬元素。性能好： 靈敏度高，背景信號(hào)低，檢出限極低；分析速度快：由于四極桿分析器的掃描速度快，每個(gè)樣品全元素測(cè)定只需大約4分鐘；線性范圍寬：一次測(cè)量線性范圍能覆蓋9個(gè)數(shù)量級(jí)；能夠提供同位素的信息。ICP-MS由于在速度、靈敏度、動(dòng)態(tài)范圍和元素測(cè)量范圍中的優(yōu)勢(shì)而處于獨(dú)一無(wú)二的地位。能夠快速測(cè)量高濃度的元素(ppb到ppm級(jí))的特點(diǎn)使其成為AES的可行的替代方法。同時(shí)ICP-MS在許多痕量和超痕量元素測(cè)定中超越了石墨爐原子吸收光譜法(GFAAS)的檢出能力(ppt級(jí))，ICP-MS能測(cè)量幾乎所有的樣品,并且實(shí)現(xiàn)了一次采集完成多元素同時(shí)測(cè)定，同時(shí)提供同位素的信息。 形態(tài)分析是ICP-MS發(fā)展最快的領(lǐng)域之一，即色譜技術(shù)與ICP-MS的聯(lián)用。其中ICP-MS作為檢測(cè)器測(cè)定樣品中元素的化學(xué)價(jià)態(tài)。這些性能有助于實(shí)現(xiàn)ICP-MS在所有領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，而且確立了ICP-MS在痕量金屬檢測(cè)技術(shù)中的首要地位。各種原子分析技術(shù)比較：ICP-MS 適用于：大多數(shù)金屬和非金屬，測(cè)試范圍：ppt-ppm；優(yōu)點(diǎn)：快速靈敏多元素；動(dòng)態(tài)范圍寬；缺點(diǎn)：干擾容易控制總?cè)芙夤腆w量(TDS)耐受性低。ICP-OES：大多數(shù)金屬和部分非金屬；測(cè)試范圍：ppb—中等ppm；優(yōu)點(diǎn)：快速多元素、高TDS耐受性；缺點(diǎn)：干擾復(fù)雜、靈敏度相對(duì)較低。GFAA：大多數(shù)金屬；優(yōu)點(diǎn)：ppt級(jí)靈敏度高、干擾少。缺點(diǎn)：?jiǎn)卧鳈z測(cè)、動(dòng)態(tài)范圍窄。氫化物AA：氫化物形成的元素ppt-ppb靈敏度高、干擾少；缺點(diǎn)：?jiǎn)卧鳈z測(cè)、速度慢。復(fù)雜冷蒸汽Hg；優(yōu)點(diǎn)：ppt靈敏、譜圖簡(jiǎn)單、干擾少；缺點(diǎn)：?jiǎn)卧鳈z測(cè)、速度慢。質(zhì)譜圖常見(jiàn)干擾
1、光譜干擾：（1）同量異位離子干擾來(lái)源：兩種不同元素的質(zhì)量幾乎相同的同位素所造成的干擾。如：133In+—133Cd+115In+—115Sn+40Ar+——40Ca+消除： 另選測(cè)定同位素、采用高分辨質(zhì)譜儀、計(jì)算機(jī)軟件校正。（2）多原子分子離子干擾來(lái)源：在離子的引出過(guò)程中，由等離子體中的組分與基體或大氣中的組分相互作用形成的多原子離子所引起的干擾。如:14N2+——28Si+14N16O1H+——31P+消除：扣空白校正、反應(yīng)/碰撞池技術(shù)、另選分析同位素。（3）氧化物和氫氧化物離子干擾來(lái)源：由分析物、基體組分、溶劑和等離子氣體等形成的氧化物和氫氧化物所引起的干擾。如：62TiO+——62Ni+65TiO+——65Cu+消除：優(yōu)化實(shí)驗(yàn)條件如功率、載氣流速、去溶進(jìn)樣、反應(yīng)/碰撞池技術(shù)、校正方法等。（4）儀器和試樣制備所引入的雜質(zhì)離子干擾來(lái)源：采樣錐和分離錐材料中濺出的金屬離子以及試劑和水中微量雜質(zhì)離子所造成的干擾。 如： 鎳錐中濺射出的Ni+約為2ng/mL;酸和去離子水中的Cu+、Zn+為ng/mL級(jí)。消除： 降低等離子體的點(diǎn)位、使用超純?cè)噭┖退⑹褂孟跛崛芙夤腆w（因?yàn)榈碾婋x電位高，其分子離子相當(dāng)弱）。
2、基體效應(yīng)： 試樣中各成分對(duì)分析元素測(cè)量的總效應(yīng)。來(lái)源： 低電離能元素的電離抑制了待測(cè)元素的電離，以及提升量和霧化效率不同影響分析物的電離和ICP溫度等所引起的干擾。消除：稀釋、基體匹配、標(biāo)準(zhǔn)加入、內(nèi)標(biāo)法或同位素稀釋等。
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